CNR Institutional Research Information System

GC-MS investigation of glow discharges fed with hexamethylkdisiloxane-O2 for PECVD of SIOX thin films

R d'Agostino;F Fanelli;F Fracassi;F Palumbo
2003
2003
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
16th International Symposium on Plasma Chemistry
Sì, ma tipo non specificato
Taormina
4
none
A. Fornelli; R. d'Agostino; F. Fanelli; F. Fracassi; F. Palumbo
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/53746
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