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Effect of He Dilution on the Growth Kinetics of SiH4-H2 Plasmas: Structural Studies on mc-Si by Micro-Raman, X-ray diffraction and Spectroscopic Ellipsometry

G Bruno;M Losurdo;MM Giangregorio;
2005
2005
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
04.01 Contributo in Atti di convegno
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