CNR Institutional Research Information System

Dynamics of Low Temperature PECVD Growth of Microcrystalline Silicon Thin Films: Impact of Substrate Surface Temperature

MMGiangregorio;
2005
2005
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors
Sì, ma tipo non specificato
Lisbona
8
none
Mlosurdo, ; Mmgiangregorio, ; Sacchetti, A; Pcapezzuto, ; Gbruno, ; Càrabe, J; Jjgandìa, ; Lurbina,
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/53833
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