CNR Institutional Research Information System

Glow Dielectric Barrier Discharges for Deposition of Fluorocarbon Thin Films

F Fanelli;F Fracassi;R d'Agostino
2006
2006
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
2-914771-38-X
04.01 Contributo in Atti di convegno
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