CNR Institutional Research Information System

Glow Dielectric Barrier Discharges for Deposition of Fluorocarbon Thin Films

F Fanelli;F Fracassi;R d'Agostino
2006
2006
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases
ESCAMPIG XVIII
481
482
2-914771-38-X
Sì, ma tipo non specificato
July 12-16, 2006
Lecce, Italy
3
none
F. Fanelli; F. Fracassi; R. d'Agostino
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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