Quasi-epitaxial growth of crystalline wurtzite AlN thin films on Si(100) by RF magnetron sputtering

Cinzia Caliendo;Patrizia Imperatori;Guido Scavia
2009

2009
Istituto di Struttura della Materia - ISM - Sede Roma Tor Vergata
Istituto dei Sistemi Complessi - ISC
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Descrizione: Quasi-epitaxial growth of crystalline wurtzite AlN thin films on Si(100) by RF magnetron sputtering
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