CNR Institutional Research Information System

Investigation of silicon MEMS structures subjected to thermal loading by digital holography

Coppola G;Iodice M;
2003
2003
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
SPIE: Microsystems Engineering: Metrology and Inspection III
Sì, ma tipo non specificato
Munich, Germany
2
none
Ferraro P; De Nicola S; Finizio A; Coppola G; Iodice M; Grilli S; Magro C; Pierattini G
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/69271
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