CNR Institutional Research Information System

Wafer-Level Fabrication and Gas Sensing Properties of miniaturized gas sensors based on Inductively Coupled Plasma deposited Tin Oxide Nanorods

Forleo A;Francioso L;Capone S;Casino F;Siciliano P;
2010
2010
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
04.01 Contributo in Atti di convegno
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