Fabrication at wafer level of miniaturized gas sensors based on SnO2 nanorods deposited by PECVD and gas sensing characteristics

Forleo A;Francioso L;Capone S;Casino F;Siciliano P;
2010

2010
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
MEMSWAVE 2010 & MEMS in Italy
Sì, ma tipo non specificato
Otranto (Le),
7
none
Forleo, A; Francioso, L; Capone, S; Casino, F; Siciliano, P; Huang, H; Tan, Ok
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/70217
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