CNR Institutional Research Information System

Fabrication of RF MEMS switches on alumina wafers using PECVD a-Si as sacrificial layer

Marcelli R;
2006
2006
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
32nd Int Conf on Micro- and Nano-Engineering
Sì, ma tipo non specificato
Barcellona (E)
RF MEMS
9
none
Cianci, E; Coppa, A; Foglietti, V; Dispenza, M; Buttiglione, R; Fiorello, Am; Marcelli, R; Catoni, S; Pochesci, D
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/73041
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