CNR Institutional Research Information System

Progress report on a 14.4-nm micro-exposure tool based on a laser-produced-plasma: debris mitigation system results and other issues

M G Pelizzo;A Gerardino
2007
2007
Istituto di fotonica e nanotecnologie - IFN
Proc. SPIE, Ultrafast X-Ray Sources and Detectors
Proc. SPIE 6703, 670308
6703
670308
Sì, ma tipo non specificato
2
none
S. Bollanti; D. Amodio; A. Conti; P. Di Lazzaro; F. Flora; L. Mezi; D. Murra; A. Torre; C. E. Zheng; D. Garoli; M. G. Pelizzo; P. Nicolosi; V. Mattare...espandi
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/76068
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