CNR Institutional Research Information System

IN-SITU MASS-SPECTROMETRIC DIAGNOSTICS DURING INP DEPOSITION IN A REMOTE PLASMA-ENHANCED MOCVD SYSTEM

1994
1994
Inglese
SIXTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON INDIUM PHOSPHIDE AND RELATED MATERIALS: CONFERENCE PROCEEDINGS
6th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials
94
0-7803-1476-X
Sì, ma tipo non specificato
1
none
BRUNO, G; LOSURDO, M LOSURDO, M; CICALA, G CICALA, G; CAPEZZUTO, P CAPEZZUTO, P
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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