CNR Institutional Research Information System

Optical interferometry techniques for high-resolution characterization and diagnostic of new materials and components

PDe Natale;S De Nicola
2006
2006
Istituto di Scienze Applicate e Sistemi Intelligenti "Eduardo Caianiello" - ISASI
. ICSO 2006, 6th International Conference on Space Optics (Noordwijk, Olanda, 27-30 giugno 2006)
Sì, ma tipo non specificato
Noordwijk,(Olanda)
inteferometry
litography
1
none
M. De Rosa; P.Ferraro; S. Grilli; F. Pignatiello; P.De Natale; A. Arie;S. De Nicola
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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