CNR Institutional Research Information System

Microscopio olografico a ricostruzione numerica per la diagnostica di strutture MEMS/MOEMS

S De Nicola;G Pierattini;G Coppola;
2004
2004
Istituto di Scienze Applicate e Sistemi Intelligenti "Eduardo Caianiello" - ISASI
microscopia
inteferometria
olografia
mems
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/79189
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