Microscopio olografico a ricostruzione numerica per la diagnostica di strutture MEMS/MOEMS

S De Nicola;G Pierattini;G Coppola;M Iodice
2004

2004
Istituto di Scienze Applicate e Sistemi Intelligenti "Eduardo Caianiello" - ISASI
Elettroottica 2004: 8° Convegno Nazionale“ Strumentazione e metodi di misura elettroottici”
Sì, ma tipo non specificato
Pavia, Italy
microscopia
inteferometria
olografia
mems
3
none
P. Ferraro; S. Grilli; D. Alfieri; S. De Nicola; A.Finizio; G. Pierattini; G. Coppola; M. Iodice
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
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