CNR Institutional Research Information System

Damage analysis of EUV Mo/Si multilayer coating irradiated by IR femtosecond pulses

P Zuppella;M G Pelizzo;M Nisoli;
2010
2010
Istituto di fotonica e nanotecnologie - IFN
PXRMS’10: 10th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures
Big Sky, Montana, USA
9
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
Suman, M; Monaco, G; Zuppella, P; G Pelizzo, M; Ferrari, F; Lucchini, M; Nisoli, M; L Windt, D; Nicolosi, P
04.02 Abstract in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/80074
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