MEMS characterization by digital holography

Coppola G;Ferraro P;Grilli S;
2005

2005
Istituto di Scienze Applicate e Sistemi Intelligenti "Eduardo Caianiello" - ISASI
Istituto Nazionale di Ottica - INO
EOS Optical Microsystems
Capri, Italy
MEMS
digital holography
none
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
Coppola, G; Striano, V; Ferraro, P; Grilli, S; Alfieri, D; De Nicola, S; Finizio, A; Pierattini, G; Javidi, B
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
9
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