Real time study of the interaction of silcion (001) with atomic hydrogen: the amorphization-etching kinetic model

GV Bianco;MM Giangregorio;M Losurdo;P Capezzuto;G Bruno
2006

2006
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
SAMIC 2006
Brixen, Italy
none
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
G.V. Bianco; M.M. Giangregorio; M. Losurdo; P. Capezzuto; G. Bruno;
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
4
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