CNR Institutional Research Information System

Real time study of the interaction of silicon (001) with atomic hydrogen: the amorphization-etching kinetic model

G Bianco;M Giangregorio;M Losurdo;P Capezzuto;G Bruno
2007
2007
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
04.03 Poster in Atti di convegno
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