CNR Institutional Research Information System

Dimethylaminosilanes plasmas for SiCN films deposition: FT-IR study of plasma and solid phase

F Fracassi;F Palumbo
2007
2007
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
04.03 Poster in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/88465
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