Morphological and structural study of plasma deposited fluorocarbon films at different thicknesses

G Cicala;F Palumbo;
2002

2002
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
Eighth International Conference on New Diamond Science and Technology
P2.05.3 pag.212
1
Sì, ma tipo non specificato
21-26 July 2002
Melbourne Australia
none
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
G. Cicala; A. Milella; F. Palumbo; P. Favia; R. d'Agostino
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
2
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