CNR Institutional Research Information System

Gas phase and surface processes in silicon tetrachloride glow discharge

G Cicala;
1985
1985
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
7th International Symposium on Plasma Chemistry, (ISPC-7) Proceedings IUPAC
7th International Symposium on Plasma Chemistry, (ISPC-7)
I
117
121
5
Sì, ma tipo non specificato
1985
Eindhoven (Olanda)
4
none
Bruno, G; Capezzuto, P; Cicala, G; Cramarossa, F
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/116046
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