CNR Institutional Research Information System

Plasmachemical reduction of silicon halocompounds for amorphous silicon films

G Cicala;
1987
1987
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
8th International Symposium on Plasma Chemistry, (ISPC-8) Proceedings IUPAC
8th International Symposium on Plasma Chemistry, (ISPC-8)
III
1536
1541
6
Sì, ma tipo non specificato
1987
Tokyo (Giappone)
4
none
Bruno, G; Capezzuto, P; Cicala, G; Cramarossa, F
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/116064
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