CNR Institutional Research Information System

TEM and DSL photoetching investigations of Si-implanted GaAs substrates

C Frigeri;
1990
1990
Inglese
L. D. Peachey and D. B. Williams
Proceedings of the XIIth Int. Congress for Electron Microscopy
XIIth Int. Congress for Electron Microscopy
684
Sì, ma tipo non specificato
Aug. 12-18, 1990
Seattle (USA)
GaAs
implantation
DSL
TEM
3
none
Frigeri, C; L Weyher, J; De Potter, M
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/116727
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