CNR Institutional Research Information System

Discharge modulation to improve the plasma deposition of hydrogenated and fluorinated silicon films

G Cicala;M Losurdo
1992
1992
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
Commission of the European Communities 11th European Photovoltaic Solar Energy Conference Proceedings
11th European Photovoltaic Solar Energy Conference
688
691
4
3-7186-5380-X
Harwood Academic Publishers
Reading
REGNO UNITO DI GRAN BRETAGNA
Sì, ma tipo non specificato
12-16 October 1992
Montreux (Switzerland)
1
none
P. Capezzuto; G. Bruno; G. Cicala; M. Losurdo
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/116734
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