CNR Institutional Research Information System

Growth Chemistry of SiC Alloys from SiF4-CH4 Plasmas

G Cicala;
2001
2001
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
Abstracts of European Mat. Res. Soc. Spring Meeting (E-MRS)
European Mat. Res. Soc. Spring Meeting
0/P13 p. 0-13
Sì, ma tipo non specificato
June 2001
Strasbourg (France)
none
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
G. Cicala; P. Capezzuto;G. Bruno
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
1
04.03 Poster in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/118094
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