CNR Institutional Research Information System

Chemical and Structural Properties of a-Si/SiON Multilayer Stacks on c-Si

C Frigeri;
2005
2005
Istituto dei Materiali per l'Elettronica ed il Magnetismo - IMEM
Italiano
International Conference on Defects: Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (11, 2005, Beijing)
DRIP XI, 11th International Conference on Defects: Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors
106
106
Sì, ma tipo non specificato
15 - 19 sett. 2005
Beijing (Cina)
a-Si/SiON
multilayers
1
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
C. Frigeri ; A. Gasparotto ;M. Serényi
04.02 Abstract in Atti di convegno
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