CNR Institutional Research Information System

Intrinsic gettering in epi silicon prepared under different conditions

C Frigeri;E Gombia;
2003
2003
Istituto dei Materiali per l'Elettronica ed il Magnetismo - IMEM
Inglese
Abstract book
EDS 2002, International Conference on Extended Defects in Semiconductors
IIP-50
Sì, ma tipo non specificato
1-6 giugno 2002
Bologna
Gettering
Si
EBIC
4
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
Frigeri, C; Gombia, E; Borionetti, G; Godio, P
04.02 Abstract in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/129992
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