CNR Institutional Research Information System

Optical Emission Spectroscopy and Laser Interferometry in the Study of Silicon Film deposition from SiCl4 Glow Discharges

G Cicala;
1984
1984
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
Atti del XVII Congresso Nazionale di Chimica Inorganica
XVII Congresso Nazionale di Chimica Inorganica
437
440
4
15-19 Ottobre 1984
Cefalù
1
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
G. Bruno; P. Capezzuto; G. Cicala; F. Cramarossa
04.02 Abstract in Atti di convegno
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