Combination of selective etching and AFM imaging for the thickness analysis of AlGaAs/InGaA/GaAs heterostructures

	Anno
	
				1995
			
	Parole chiave
	
				AlGaAs/InGaAs/GaAs
Etching
AFM
TEM
			
	Appare nelle tipologie:
	
				04.02 Abstract in Atti di convegno

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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/138018

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