On the production of semi-insulating buried layers in epitaxially grown InP by Fe ion implantation

C Frigeri
1993

1993
Inglese
Proceedings of the 5th Conf. on Indium Phosphide and Related Materials
5th Conf. on Indium Phosphide and Related Materials
337
340
The Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Piscataway
STATI UNITI D'AMERICA
Sì, ma tipo non specificato
April 19-22, 1993
Paris (F)
InP
Fe
implantation
Semi-insulating layer
7
none
Carnera, A; Gasparotto, A; Caldironi, M; Pellegrino, S; Tromby, M; Vidimari, F; Frigeri, C
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
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