CNR Institutional Research Information System

Quantitative strain mapping in nanoelectronic silicon devices by convergent beam electron diffraction

Armigliato A;Balboni R;
2008
2008
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
Salviati G.; Sekiguchi T.; Heun S.; Gustafsson A.
Beam Injection Based Nanocharacterization of Advanced Materials
197
219
23
978-81-308-0226-8
Research Signpost
Trivandrum
INDIA
Volume pubblicato da Research Signpost, Kerala, India. Il Capitolo in oggetto è il Chapter 8 (pages 197-219)
2
02 Contributo in Volume::02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
268
none
Armigliato A.; Balboni R.; Frabboni S.; Spessot A.
info:eu-repo/semantics/bookPart
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