MIM capacitors used for actuating RF MEMS have been studied for investigating charging effects.

Characterization of MIM Capacitors for the Investigation of RF MEMS Switch Charging Effects

Andrea Lucibello;G Bartolucci;Romolo Marcelli
2010

Abstract

MIM capacitors used for actuating RF MEMS have been studied for investigating charging effects.
2010
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
978-973-27-1916-9
RF MEMS
MIM
Charging
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/139294
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