Deposition of Si-Ge alloys under plasma modulation conditions

M Losurdo;G Cicala
1991

1991
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
Abstracts 14th International Conference on Amorphous Semiconductors Science and Technology
14th International Conference on Amorphous Semiconductors Science and Technology
212
Sì, ma tipo non specificato
Agosto 1991
Garmisch-Partenkirchen (Germania)
5
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
Bruno, G; Capezzuto, P; Losurdo, M; Manodoro, P; Cicala, G
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