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Plasma Deposition of Amorphous Silicon Based Materials. Processes and Material properties

G Cicala;
1990
1990
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
Abstract 2nd Workshop on Optical Coatings and Integrated Optics
2nd Workshop on Optical Coatings and Integrated Optics
Ottobre 1990
Genova
1
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
G. Bruno; P. Capezzuto; G. Cicala; P. Manodoro
04.02 Abstract in Atti di convegno
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