CNR Institutional Research Information System

Plasma Deposition of a-Si,Ge:H,F Thin Films from SiF4-GeH4-H2 Mixtures

G Cicala;
1987
1987
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
Abstracts Fall Meeting of the Material Research Society (MRS)
Fall Meeting of the Material Research Society (MRS)
p.383, N5.7
Sì, ma tipo non specificato
Dicembre 1987
Boston (USA)
5
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
Bruno, G; Capezzuto, P; Cicala, G; Fcramarossa, ; Barbarossa, V
04.02 Abstract in Atti di convegno
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