Diaframma per microscopio elettronico e procedimento per realizzare tale diaframma

Armigliato A;Gazzadi G;Migliori A;Pizzochero G
2006

2006
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
INFM
Diaframma
Microscopia elettronica
Nanodiffrazione elettronica
Assottigliamento mediante fasci ionici focalizzati
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