Chemical Vapor Deposition of MgO thin films from bis(Methylcyclopentadienyl) Magnesium

Carta G;El Habra N;Crociani L;Rossetto G;Zanella P;
2006

2006
CHIMICA INORGANICA E DELLE SUPERFICI
Istituto di Chimica della Materia Condensata e di Tecnologie per l'Energia - ICMATE
Inglese
SAMIC 2006 - Syntheses and methodologies in inorganic chemistry - From Molecules to Nanosystems
No
3-7/12/2006
Bressanone
MOCVD
MgO
precursore
analisi superficiale
thin films
restricted
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
Carta, G; El Habra, N; Crociani, L; Rossetto, G; Zanella, P; Zanella, A; Paolucci, G; Barreca, D; Tondello, E
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
9
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Descrizione: Chemical Vapor Deposition of MgO thin films from bis(Methylcyclopentadienyl) Magnesium
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