CNR Institutional Research Information System

Riboon-like structures in films deposited by means of modulated C2F4 plasmas: gas and surface diagnostics

F Palumbo;G Cicala;
2003
2003
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Proceedings of Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics V (FLTPD-V) p. 275, April 2003
Specchia
none
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
Palumbo, F; Milella, A; Favia, P; Cicala, G; D'Agostino, R
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
5
04.03 Poster in Atti di convegno
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