Al2O3 growth optimisation using aluminium dimethylisopropoxide as precursor as a function of reaction conditions and reacting gases

D Barreca;G Carta;R Gerbasi;G Rossetto;P Zanella
2001

2001
CHIMICA INORGANICA E DELLE SUPERFICI
Istituto di Chimica della Materia Condensata e di Tecnologie per l'Energia - ICMATE
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