CNR Institutional Research Information System

Al2O3 growth optimisation using aluminium dimethylisopropoxide as precursor as a function of reaction conditions and reacting gases

G Carta;R Gerbasi;G Rossetto;P Zanella
2001
2001
CHIMICA INORGANICA E DELLE SUPERFICI
Istituto di Chimica della Materia Condensata e di Tecnologie per l'Energia - ICMATE
11
539
546
4
info:eu-repo/semantics/article
262
D. Barreca; G.A. Battiston; G. Carta; R. Gerbasi; G. Rossetto; E. Tondello;P. Zanella
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none
01.01 Articolo in rivista
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