CNR Institutional Research Information System

RF-Sputtering technique: a promising tool for ceria-based film deposition

Barison S;Daolio S;Fabrizio M;Chiodelli G;Roncari E;Sanson A
2006
2006
Istituto di Chimica della Materia Condensata e di Tecnologie per l'Energia - ICMATE
Istituto di Scienza, Tecnologia e Sostenibilità per lo Sviluppo dei Materiali Ceramici - ISSMC (ex ISTEC)
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Descrizione: RF-Sputtering Technique: A Promising Tool for Ceria-Based Film Deposition
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