CNR Institutional Research Information System

Deposition of fluorocarbon films in modulated glow discharges

F Palumbo;G Cicala;
2002
2002
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
Inglese
Sixteenth European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases
349
350
2
Sì, ma tipo non specificato
14-18 July 2002
Grenoble France
5
none
Palumbo, F; Cicala, G; Milella, A; Favia, P; D'Agostino, R
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/18893
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