CNR Institutional Research Information System

Recent Improvements on a-SiC:H Films Deposited by UHV-PECVD

R Rizzoli;
1994
1994
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
XIIth E.C. Photovoltaic Solar Energy Conference: proceedings of the international conference, held at Amsterdam, The Netherland, 11-15 April 1994
XIIth E.C. Photovoltaic Solar Energy Conference
366
0952145243
H.S. Stephens Associates
Felmersham
REGNO UNITO DI GRAN BRETAGNA
No
11-15 Aprile 1994
Amsterdam
9
none
Rizzoli, R; Rgalloni, ; Csummonte, ; Fdemichelis, ; Cfpirri, ; Etresso, ; Gcrovini, ; Prava, ; Amadan,
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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