CNR Institutional Research Information System

Amorphous silicon nitrogen alloys deposited by PECVD under hydrogen dilution conditions

C Summonte;R Rizzoli;A Desalvo
1998
1998
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
Physics of Semiconductor Devices
9th International Conference on Physics of Semiconductor Devices, New Delhi (India) 1997
1
580
583
9780819427564
Narosa Publishing House
New Delhi
INDIA
No
1997
New Delhi (India)
2-s2.0-0032291217
9
none
Rava, P; Giuliani, F; Giorgis, F; Pirri, Cf; Tresso, E; Mandracci, P; Summonte, C; Rizzoli, R; Desalvo, A
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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