CNR Institutional Research Information System

Strain determination in submicron isolation structures by TEM/CBED

Armigliato A;Balboni R;
1999
1999
Inglese
MICROSCOPY OF SEMICONDUCTING MATERIALS 1999
MICROSCOPY OF SEMICONDUCTING MATERIALS 1999
164
447
450
4
0-7503-0650-5
IOP PUBLISHING LTD
BRISTOL BS1 6BE
REGNO UNITO DI GRAN BRETAGNA
Sì, ma tipo non specificato
MAR 22-25, 1999
OXFORD, ENGLAND
WOS:000166835300095
2
none
Armigliato A.; Balboni R.; Balboni S.; Frabboni S.; Tixier A.; Carnevale GP.; Colpani P.; Pavia G.; Marmiroli A.
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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