CNR Institutional Research Information System

Strain in Silicon below Si3N4 Stripes, Comparison between SUPREM IV Calculation and TEM/CBED Measurements

A Armigliato;R Balboni;
1997
1997
Inglese
57
8
365
370
6
Sì, ma tipo non specificato
EDGE-INDUCED STRESS
2
info:eu-repo/semantics/article
262
A Armigliato; R Balboni; S Frabboni; A Tixier; GP Carnevale; P Colpani; A Marmiroli
01 Contributo su Rivista::01.01 Articolo in rivista
none
01.01 Articolo in rivista
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