CNR Institutional Research Information System

Rutherford backscattering studies of ion implanted semiconductors

Nipoti R;Servidori;
1997
1997
RBS-CHANNELING SPECTRA
MEV PROTONS
SILICON
SI
DAMAGE
AMORPHIZATION
LAYERS
DISLOCATIONS
SIMULATION
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/201124
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