CNR Institutional Research Information System

Silicon micromachining and material nanotechnology for sensor applications

APoggi;PMaccagnani;
1999
1999
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
PRECISION ENGINEERING, NANOTECHNOLOGY,
EUSPEN-International conference and general meeting of the European-Society- for- Preciosion -Engineering and Nanotechnology
1
191
194
4
3-8265-6085-X
SHAKER VERLAG GMBH,
POSTFACH 1290, AACHEN, 52013
GERMANIA
No
31 maggio-4 giugno 1999
Brema
WOS:000222984000046
6
none
Apoggi, ; Ldori, ; Gccardinali, ; Pmaccagnani, ; Rangelucci, ; Snicoletti,
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/201927
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