CNR Institutional Research Information System

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BORON AND PHOSPHORUS ION IMPLANTATION IN A-SIXC1-XH THIN FILMS

RIZZOLI R;SUMMONTE C;
1994

Abstract

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1994
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
1-55899-236-7
a-SiC:H thin films
boron doping
phosphorus doping
ion implantation
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/203265
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