CNR Institutional Research Information System

-

BORON AND PHOSPHORUS ION IMPLANTATION IN A-SIXC1-XH THIN FILMS

RIZZOLI R;SUMMONTE C;
1994

Abstract

-
1994
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
1-55899-236-7
a-SiC:H thin films
boron doping
phosphorus doping
ion implantation
04.01 Contributo in Atti di convegno
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/203265
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 1
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? 0
social impact